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    激光微熔覆加工系統(tǒng)

    激光微熔覆加工系統(tǒng)

    產(chǎn)品簡介:

    激光微熔覆技術(shù)是以高能激光束作為熱源,通過CAD/CAM軟件,結(jié)合微細筆直寫和微噴技術(shù);

    將各種功能材料(如金、銀、銅、鎳及其合金等)熔覆在各種介質(zhì)基板表面,如塑料(聚酰亞胺(PI)、聚酯(POLYESTER)、聚碳酸酯(PC))、陶瓷、石英、玻璃等;

    使熔覆材料內(nèi)部、熔覆層與基材界面發(fā)生物理化學(xué)作用,獲得不同線寬的導(dǎo)線及無源器件;

    實現(xiàn)在無掩模下在基板表面直接制備導(dǎo)電層、電阻層和介質(zhì)層的工藝過程,形成所需功能元器件和微系統(tǒng)。

    設(shè)備特點及優(yōu)勢:

    本技術(shù)所得圖案層的線寬/線間距最大分辨率可達到20-7μm(與襯底材料和工藝有關(guān)),性能優(yōu)良,與襯底材料具有良好的結(jié)合強度。獨立開發(fā)的激光微熔覆工藝、技術(shù)及與裝備,加工過程無需掩膜,依托裝備的CAD/CAM功能,制造精度高、質(zhì)量好、柔性化程度高,適應(yīng)的熔覆材料和基板材料范圍廣,可實現(xiàn)平面二維圖形和空間三維曲面激光微熔覆加工。


    該技術(shù)與裝備的突出優(yōu)點是加工過程完全無需掩膜,直接依托裝備的CAD/CAM功能,制造精度高、質(zhì)量好、柔性化程度高,適應(yīng)的熔覆材料和基板材料范圍廣,并可順利實現(xiàn)平面二維圖形和空間三維曲面激光微熔覆加工。


    設(shè)備特點:

    1、無需掩膜;所見及所得; 

    2、柔性化程度高; 精度高; 

    3、可實現(xiàn)三維加工制造; 

    4、快速設(shè)計、小批量制造; 

    5、可直寫打印制備材料范圍:導(dǎo)體材料、電阻材料、介質(zhì)材料和半導(dǎo)體材料,如金、銀、銅、鎳、玻璃、塑料、光波導(dǎo)等; 

    6、直寫打印的襯底材料范圍:塑料、陶瓷、石英、玻璃、單晶硅等;

    7、制備的電子元器件與襯底結(jié)合強度高。


    應(yīng)用領(lǐng)域:

    1、電子、微電子(平面、三維電路與器件);

    2、精密機械、微電子機械系統(tǒng)(MEMS);

    3、印刷線路板(PCB)、手機天線與背板、射頻識別標(biāo)簽(RFID)、柔性顯示器、傳感器、太陽能電極;

    4、生物工程。


    技術(shù)參數(shù):

    激光功率  0~50W可選
     激光波長   355、532、1064nm(可選) 
     直寫打印最小寬度   ≦100μm 
     直寫打印單層厚度   5~15μm(可調(diào))
     直寫打印+激光復(fù)合微熔覆最小線寬   ≦30μm 
     直寫打印速率   ≦20mm/s 
     直寫打印材料粘度   1~100Pa.s 
     設(shè)備定位精度   ±5μm(可選) 
     設(shè)備重復(fù)定位精度   ±3μm(可選) 
     工作臺尺寸   400×300×100mm (可選) 
     定位方式   CCD定位,自動補償 
     支持文件   CAD、Protel、Gerber等 
     三維加工能力   具備

























    樣品展示:

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    PFTE表面的四臂螺旋天線LCP表面的天線鈦酸鍶鋇表面四臂螺旋天線


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