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激光微熔覆加工系統(tǒng)

激光微熔覆加工系統(tǒng)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

激光微熔覆技術(shù)是以高能激光束作為熱源,通過(guò)CAD/CAM軟件,結(jié)合微細(xì)筆直寫(xiě)和微噴技術(shù);

將各種功能材料(如金、銀、銅、鎳及其合金等)熔覆在各種介質(zhì)基板表面,如塑料(聚酰亞胺(PI)、聚酯(POLYESTER)、聚碳酸酯(PC))、陶瓷、石英、玻璃等;

使熔覆材料內(nèi)部、熔覆層與基材界面發(fā)生物理化學(xué)作用,獲得不同線寬的導(dǎo)線及無(wú)源器件;

實(shí)現(xiàn)在無(wú)掩模下在基板表面直接制備導(dǎo)電層、電阻層和介質(zhì)層的工藝過(guò)程,形成所需功能元器件和微系統(tǒng)。

設(shè)備特點(diǎn)及優(yōu)勢(shì):

本技術(shù)所得圖案層的線寬/線間距最大分辨率可達(dá)到20-7μm(與襯底材料和工藝有關(guān)),性能優(yōu)良,與襯底材料具有良好的結(jié)合強(qiáng)度。獨(dú)立開(kāi)發(fā)的激光微熔覆工藝、技術(shù)及與裝備,加工過(guò)程無(wú)需掩膜,依托裝備的CAD/CAM功能,制造精度高、質(zhì)量好、柔性化程度高,適應(yīng)的熔覆材料和基板材料范圍廣,可實(shí)現(xiàn)平面二維圖形和空間三維曲面激光微熔覆加工。


該技術(shù)與裝備的突出優(yōu)點(diǎn)是加工過(guò)程完全無(wú)需掩膜,直接依托裝備的CAD/CAM功能,制造精度高、質(zhì)量好、柔性化程度高,適應(yīng)的熔覆材料和基板材料范圍廣,并可順利實(shí)現(xiàn)平面二維圖形和空間三維曲面激光微熔覆加工。


設(shè)備特點(diǎn):

1、無(wú)需掩膜;所見(jiàn)及所得; 

2、柔性化程度高; 精度高; 

3、可實(shí)現(xiàn)三維加工制造; 

4、快速設(shè)計(jì)、小批量制造; 

5、可直寫(xiě)打印制備材料范圍:導(dǎo)體材料、電阻材料、介質(zhì)材料和半導(dǎo)體材料,如金、銀、銅、鎳、玻璃、塑料、光波導(dǎo)等; 

6、直寫(xiě)打印的襯底材料范圍:塑料、陶瓷、石英、玻璃、單晶硅等;

7、制備的電子元器件與襯底結(jié)合強(qiáng)度高。


應(yīng)用領(lǐng)域:

1、電子、微電子(平面、三維電路與器件);

2、精密機(jī)械、微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS);

3、印刷線路板(PCB)、手機(jī)天線與背板、射頻識(shí)別標(biāo)簽(RFID)、柔性顯示器、傳感器、太陽(yáng)能電極;

4、生物工程。


技術(shù)參數(shù):

激光功率  0~50W可選
 激光波長(zhǎng)   355、532、1064nm(可選) 
 直寫(xiě)打印最小寬度   ≦100μm 
 直寫(xiě)打印單層厚度   5~15μm(可調(diào))
 直寫(xiě)打印+激光復(fù)合微熔覆最小線寬   ≦30μm 
 直寫(xiě)打印速率   ≦20mm/s 
 直寫(xiě)打印材料粘度   1~100Pa.s 
 設(shè)備定位精度   ±5μm(可選) 
 設(shè)備重復(fù)定位精度   ±3μm(可選) 
 工作臺(tái)尺寸   400×300×100mm (可選) 
 定位方式   CCD定位,自動(dòng)補(bǔ)償 
 支持文件   CAD、Protel、Gerber等 
 三維加工能力   具備

























樣品展示:

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PFTE表面的四臂螺旋天線LCP表面的天線鈦酸鍶鋇表面四臂螺旋天線


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