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    激光微熔覆加工系統

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    激光微熔覆加工系統

    產品簡介:

    激光微熔覆技術是以高能激光束作為熱源,通過CAD/CAM軟件,結合微細筆直寫和微噴技術;

    將各種功能材料(如金、銀、銅、鎳及其合金等)熔覆在各種介質基板表面,如塑料(聚酰亞胺(PI)、聚酯(POLYESTER)、聚碳酸酯(PC))、陶瓷、石英、玻璃等;

    使熔覆材料內部、熔覆層與基材界面發生物理化學作用,獲得不同線寬的導線及無源器件;

    實現在無掩模下在基板表面直接制備導電層、電阻層和介質層的工藝過程,形成所需功能元器件和微系統。

    設備特點及優勢:

    本技術所得圖案層的線寬/線間距最大分辨率可達到20-7μm(與襯底材料和工藝有關),性能優良,與襯底材料具有良好的結合強度。獨立開發的激光微熔覆工藝、技術及與裝備,加工過程無需掩膜,依托裝備的CAD/CAM功能,制造精度高、質量好、柔性化程度高,適應的熔覆材料和基板材料范圍廣,可實現平面二維圖形和空間三維曲面激光微熔覆加工。


    該技術與裝備的突出優點是加工過程完全無需掩膜,直接依托裝備的CAD/CAM功能,制造精度高、質量好、柔性化程度高,適應的熔覆材料和基板材料范圍廣,并可順利實現平面二維圖形和空間三維曲面激光微熔覆加工。


    設備特點:

    1、無需掩膜;所見及所得; 

    2、柔性化程度高; 精度高; 

    3、可實現三維加工制造; 

    4、快速設計、小批量制造; 

    5、可直寫打印制備材料范圍:導體材料、電阻材料、介質材料和半導體材料,如金、銀、銅、鎳、玻璃、塑料、光波導等; 

    6、直寫打印的襯底材料范圍:塑料、陶瓷、石英、玻璃、單晶硅等;

    7、制備的電子元器件與襯底結合強度高。


    應用領域:

    1、電子、微電子(平面、三維電路與器件);

    2、精密機械、微電子機械系統(MEMS);

    3、印刷線路板(PCB)、手機天線與背板、射頻識別標簽(RFID)、柔性顯示器、傳感器、太陽能電極;

    4、生物工程。


    技術參數:

    激光功率  0~50W可選
     激光波長   355、532、1064nm(可選) 
     直寫打印最小寬度   ≦100μm 
     直寫打印單層厚度   5~15μm(可調)
     直寫打印+激光復合微熔覆最小線寬   ≦30μm 
     直寫打印速率   ≦20mm/s 
     直寫打印材料粘度   1~100Pa.s 
     設備定位精度   ±5μm(可選) 
     設備重復定位精度   ±3μm(可選) 
     工作臺尺寸   400×300×100mm (可選) 
     定位方式   CCD定位,自動補償 
     支持文件   CAD、Protel、Gerber等 
     三維加工能力   具備

























    樣品展示:

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    PFTE表面的四臂螺旋天線LCP表面的天線鈦酸鍶鋇表面四臂螺旋天線


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